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摘 要: 依据介质上电润湿的根本原理,对用于数字微流控体系的“三明治”布局器件中影响液滴输运和发生的要素举行了实际剖析,并研制出了一种新型液滴发生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板接纳硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质屋,上极板接纳ITO通明导电玻璃板作为地电极;别的,在上下极板的外表都匀称旋转涂覆了一层30m厚的Teflon薄膜为外表疏水层.实行后果标明,在氛围氛围中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下乐成地完成了从蓄池塘中对去离子水点的分发.